2024年11月15日,備受矚目的國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺建成發(fā)布儀式,在第二十六屆中國國際高新技術(shù)成果交易會的現(xiàn)場隆重舉行,這一里程碑事件標志著深圳在第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新領(lǐng)域邁出了堅實的一步。發(fā)布會現(xiàn)場既有來自半導體行業(yè)的專家,也有市科創(chuàng)局、市發(fā)改委、市工信局、龍崗區(qū)政府、市重投集團、深圳市半導體行業(yè)協(xié)會、深圳市半導體和集成電路產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、深圳先進電子材料國際創(chuàng)新研究院、電子科技大學(深圳)高等研究院、第三代半導體國創(chuàng)中心湖南平臺的領(lǐng)導和嘉賓,他們的到場體現(xiàn)了各界對國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺建成的高度重視。

伴隨著深圳綜合平臺建設(shè)匯報視頻的播放,通過豐富的影像資料和詳實的數(shù)據(jù)記錄,全面展示了平臺籌備到建設(shè)過程中的點點滴滴。自2021年起,根據(jù)科技部統(tǒng)一部署,深圳市開始承接國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺的建設(shè)任務。在2022年,設(shè)立深圳平湖實驗室作為建設(shè)和運營主體。在建設(shè)過程中,始終遵循“一體統(tǒng)籌規(guī)劃、多地分布布局、協(xié)同創(chuàng)新聯(lián)動”的原則,聚焦第三代半導體領(lǐng)域器件物理研究、材料研究、技術(shù)開發(fā)、產(chǎn)品中試,以及第四代半導體材料器件前沿研究等多個關(guān)鍵方面,致力于打造一個在全球范圍內(nèi)具有競爭力的、涵蓋創(chuàng)新、中試及共享功能的第三代及第四代功率半導體平臺。

在現(xiàn)場熱烈的掌聲中,深圳市科技創(chuàng)新局 方琳 副局長登臺致辭,她強調(diào)了半導體產(chǎn)業(yè)在國家科技發(fā)展戰(zhàn)略中的核心地位,鼓勵深圳綜合平臺在未來充分發(fā)揮自身優(yōu)勢,積極整合各方資源,不斷推動半導體技術(shù)創(chuàng)新,為實現(xiàn)我國半導體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展做出更大的貢獻。隨著方琳 副局長祝賀“國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺建成”,現(xiàn)場嘉賓紛紛報以熱烈的掌聲。

深圳綜合平臺主任、深圳平湖實驗室主任萬玉喜先生隨后在熱切的期待中上臺發(fā)言,詳細回顧了深圳綜合平臺的建設(shè)歷程并著重介紹了平臺定位和未來規(guī)劃。他指出,國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺作為全國首個集科研和中試于一體的8吋功率半導體開放共享平臺,就像一條堅固的紐帶,連接著從基礎(chǔ)研發(fā)到工程化應用的各個環(huán)節(jié)。深圳綜合平臺將深深扎根于深圳及大灣區(qū)這片充滿創(chuàng)新活力的土地,積極協(xié)同國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心的其他平臺、全國的高等院校、科研機構(gòu)以及企業(yè)的優(yōu)質(zhì)資源,為半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供源源不斷的人才供給。以前瞻性技術(shù)為引領(lǐng),大力推動第三代半導體關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān),保障供應安全并積極推動成果產(chǎn)業(yè)化,持續(xù)提升創(chuàng)新能力。

作為發(fā)布會重要的成果展示環(huán)節(jié),深圳綜合平臺的三大能力平臺逐一揭開神秘面紗,專家代表紛紛登臺亮相,詳細展示了平臺能力和建設(shè)成果:

其中,深圳綜合平臺中試線工程部賀部長登臺介紹了中試線的技術(shù)優(yōu)勢與創(chuàng)新能力以及產(chǎn)業(yè)鏈布局等。目前,深圳綜合平臺已精心布局1200 – 6500V SiC MOSFET及15 – 1200V GaN HEMT產(chǎn)品及工藝平臺,正在積極構(gòu)建從材料制備、芯片設(shè)計、晶圓制造到封裝測試的完整產(chǎn)業(yè)鏈。在產(chǎn)業(yè)鏈構(gòu)建過程中,中試線與上下游企業(yè)緊密合作,全力推動協(xié)同發(fā)展,逐步形成一個良好的生態(tài)系統(tǒng)。此外,中試線還積極參與行業(yè)標準的制定工作,與國內(nèi)外高校、研究機構(gòu)深度合作,不斷探索更多的應用場景。在質(zhì)量控制方面建立了完善的質(zhì)量控制體系,為半導體產(chǎn)品的高質(zhì)量生產(chǎn)提供堅實的保障。

緊接著,深圳平湖實驗室設(shè)計與仿真部王部長隨后登臺發(fā)布了第三代半導體功率半導體設(shè)計仿真工具鏈平臺的最新建設(shè)進展。她著重闡述了設(shè)計與仿真工具鏈軟件多元化對我國EDA產(chǎn)業(yè)生態(tài)發(fā)展的重大意義。在EDA市場,全工具鏈模式的國外EDA供應商具備競爭優(yōu)勢,但國內(nèi)EDA供應商大多為點工具開發(fā),發(fā)展相對滯后。深圳綜合平臺巧妙地利用自身產(chǎn)線的優(yōu)勢,搭建起了一個產(chǎn)學研緊密合作的國產(chǎn)EDA工具鏈公共服務平臺,成功地解決了串鏈困難與驗證困難這兩大難題,這一舉措對于完善我國的EDA產(chǎn)業(yè)生態(tài)、搶占化合物EDA工具發(fā)展的制高點具有不可忽視的戰(zhàn)略意義。

最后,深圳平湖實驗室分析檢測中心主任曾威先生登臺發(fā)布,宣布深圳平湖實驗室分析檢測中心正式啟用,相較于業(yè)內(nèi)其他檢測中心,深圳平湖實驗室分析檢測中心具備業(yè)界領(lǐng)先的技術(shù)和優(yōu)勢。首先,在能力布局方面極為全面,涵蓋了材料分析、微觀結(jié)構(gòu)分析、失效分析、電性測試、快速封裝、可靠性驗證等全產(chǎn)業(yè)鏈的各個環(huán)節(jié);其次,該中心擁有一支實力強大且專業(yè)的專家團隊,其中首席專家達到3名以上,博士所占的比例不少于30%,碩博所占的比例更是不少于80%,這樣一支高素質(zhì)的專家團隊為檢測中心的技術(shù)實力提供了堅實的人才支撐;再次,在合作模式上,該檢測中心可以作為一個第三方檢測平臺,為客戶提供檢測、咨詢、認證等多種服務,并且能夠為客戶定制專項解決方案,提供全面的技術(shù)支持,通過橫向合作推動技術(shù)進步和產(chǎn)業(yè)升級。

建成發(fā)布的深圳綜合平臺將是粵港澳大灣區(qū)乃至全國在第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新方面的核心力量,平臺有助于深圳打造具有全球影響力的半導體技術(shù)創(chuàng)新中心、中試轉(zhuǎn)化集聚中心、產(chǎn)業(yè)合作促進中心,支撐國家重大戰(zhàn)略需求,在重點關(guān)鍵核心技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破,重塑產(chǎn)業(yè)技術(shù)格局,持續(xù)推動我國半導體產(chǎn)業(yè)高水平、高質(zhì)量發(fā)展。